Silizium-Halbleitertechnologie

Name: Silizium-Halbleitertechnologie
Brand: Vieweg+teubner Verlag
SKU: 9783519001492
Price: 3249.00 INR
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by Ulrich Hilleringmann

Vieweg+teubner Verlag

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Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universität Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Proze technik berücksichtigen zu können, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra- tionstechniken erweitert worden.

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