Praxiswissen Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schl�sseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch tr�gt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen.