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Cover of Entwicklung Und Optimierung Von Prozeßkomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei Pvd-Verfahren

Entwicklung Und Optimierung Von Prozeßkomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei Pvd-Verfahren

by Walter Olbrich

Springer

₹5,498

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Die physikalische Abscheidung aus der Gasphase (Physical Vapor Deposition, PVD) ist ein junges Fertigungsverfahren der Obertliichentechnik. Mit PVD-Verfahren lassen sich diinne Schichten im Bereich einiger Nanometer bis zu einigen Mikrometem aufvielen Werkstiicken erzeugen. Durch die Beschichtung lassen sich gezielt die Eigenschaften der Werkstiickober- flache veriindem.

Description supplied by the publisher.

Book details

ISBN-13
9783540585114
ISBN-10
3540585117
Author
Walter Olbrich
Publisher
Springer
Condition
New
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