Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik

Name: Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik
Brand: Springer
SKU: 9783642622847
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by Gerhard Franz

Springer

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In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird.

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